압력 센서는 압력을 측정하기 위해 강, 화학 및 기타 필드에서 사용할 수있는 일종의 압력 센서이며 압력 조절기와 함께 사용될 때 자동 압력 제어를 실현할 수 있습니다.
확산 실리콘 압력 센서 /원리 소개
확산 실리콘 압력 센서는 단결정 실리콘 웨이퍼의 특징적인 결정 방향을 따라 도핑 및 확산을 통한 통합 공정 기술을 사용하여 밀리 스톤 브리지를 형성하기 위해 변형 저항성을 형성하기 위해 압전성 효과의 원리를 기반으로합니다. 실리콘 물질의 탄성 기계적 특성을 사용하여 동일한 규성 마이크로 몬 (silicon micromachining)을 사용합니다. 힘 감지 및 힘-전기 변환 감지가 제작됩니다.
확산 된 실리콘 압력 센서의 압력은 센서 (스테인레스 스틸 또는 세라믹)의 다이어프램에 직접 작용하여 다이어프램이 배지의 압력에 비례하여 미세 변위를 생성하고 센서의 저항 값이 변화합니다. 전자 회로는이 변화를 감지하고 변환합니다. 이 압력에 해당하는 표준 측정 신호는 출력입니다.
확산 실리콘 압력 센서 기능
1. 소규모 송신기를 만드는 데 적합합니다
실리콘 칩의 힘-민감성 저항의 압전적 효과는 제로 포인트 근처의 낮은 범위에 데드 존이 없으며 압력 센서의 범위는 여러 kPa만큼 작을 수 있습니다.
2. 높은 출력 감도
실리콘 스트레인 저항의 감도 계수는 금속 스트레인 게이지의 감도 계수보다 50 ~ 100 배 높으므로 해당 센서의 감도는 매우 높고 일반 범위 출력은 약 100MV입니다. 따라서 인터페이스 회로에 대한 특별한 요구 사항은 없으며 사용하기가 더 편리합니다.
3. 높은 정밀도
센서의 감지, 민감한 변환 및 감지는 동일한 구성 요소에 의해 실현되므로 중간 변환 링크가 없으며 반복성 및 히스테리시스 오류는 작습니다. 단결정 실리콘 자체는 강성성과 작은 변형을 가지므로 선형성이 우수합니다.
4. 작업의 일관성 변형은 마이크로 변형의 순서만큼 낮기 때문에 탄성 칩의 최대 변위는 하위 미크론의 순서이므로 마모, 피로, 노화가 없으며 수명은 1 × 107 압력 사이클만큼 안정적인 성능과 높은 신뢰성이 있습니다.
5. 실리콘의 탁월한 화학적 차단 저항으로 인해, 비소화되지 않은 확산 실리콘 압력 센서조차도 다양한 매체에 상당한 적응을 할 수 있습니다.
6. 칩은 통합 프로세스를 채택하고 전송 구성 요소가 없기 때문에 크기가 작고 무게가 작습니다.
확산 실리콘 압력 센서 사용 예방 조치
1. 과도한 범위 또는 언더 범위가 선택되면 진폭은 ± 30%fs 내에서 제어해야합니다.
2. 압력 모드는 게이지 압력, 절대 압력 및 밀봉 압력으로 나뉘며, 필요에 따라 합리적으로 선택할 수 있습니다.
3. 시스템의 최대 과부하를 확인하십시오. 시스템의 최대 과부하는 센서의 과부하 보호 한계보다 작아야하며, 그렇지 않으면 제품의 서비스 수명에 영향을 미치고 제품을 손상시킵니다.
4. 딱딱한 물체와 다이어프램을 만지지 마십시오. 그렇지 않으면 다이어프램이 파열됩니다.
5. 부압 코어를 제조하는 재료 및 공정은 양압과 동일하지 않으므로 부압 코어를 게이지 압력 코어로 대체 할 수 없습니다.
6. 설치가 잘못 설치되어 제품의 손상을 피하기 위해 설치 전에 지침 매뉴얼을주의 깊게 점검하십시오.
7. 프로퍼 사용은 위험과 개인 상해로 이어질 수 있습니다.
8. 코어는 하우징에서 꺼내고 전선과 튜브 다리를 당기는 것이 금지되어 있습니다.
확산 실리콘 압력 센서 응용
확산 실리콘 압력 센서는 주로 프로세스 제어 시스템, 압력 교정 기기, 유압 시스템, 생물 기기, 유압 시스템 및 밸브, 액체 수준 측정, 냉장 장비 및 HVAC 제어 산업에 사용됩니다. 자동화 요구 사항이 높은 모든 산업은 확산 실리콘 압력 센서를 사용할 수 있다고 말할 수 있습니다.
후 시간 : 8 월 15 일