"온도 드리프트"외에도 고정밀 센서는 그 이상을 조사해야하며 비선형 성은 중요한 성능 지표 중 하나입니다.
압력 센서의 비선형성에 대해 왜 걱정해야합니까? 압력 센서는 압력 송신기의 핵심 구성 요소입니다. 현재 일반적으로 사용됩니다압력 센서압전적 압력 센서이며, 출력 신호는 큰 비선형 성을 가지며 압력 송신기의 성능 및 측정 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다.
그렇다면 센서의 비선형 성은 무엇입니까? 정의에 따르면 센서의 비선형 성은 압력이 변함에 따라 압력 센서의 출력이 특성 곡선을 나타냅니다. 이 곡선의 최대 편차와 피팅 라인과 센서의 전체 규모 출력 사이의 백분율을 비선형 성이라고합니다. 이 백분율의 크기는 센서의 비선형 성을 결정합니다. 간단하고 직관적 인 이해에서, 그것은 출력 특성 곡선과 피팅 직선 사이의 편차 정도가 비선형임을 의미합니다.
압력 센서에 비선형 문제가있는 이유는 무엇입니까? 압전적 압력 센서는 일반적으로 사용되는 브리지 측정 회로 (Whiston Bridge), 아래 그림과 같이,
초기 상태에서, 4 개의 브리지 암의 저항 값은 동일하게 유지됩니다. 입력 외부 힘이 작용하면 브리지 암 저항의 균형 잡힌 상태가 파손됩니다. 현재 출력 터미널에 전위차가 나타납니다. 브리지 암 저항의 상대적인 변화는 일정 비율이며, 브리지 암 저항의 상대적 변화는 센서의 비선형 성을 결정합니다.
그리고 각 압전 압력 압력 센서는 노화, 압력 충격, 용접 등과 같은 제조 공정에서 센서의 성능에 영향을 미치는 몇 가지 특수 공정을 채택합니다. 또한, 확산 된 실리콘 칩의 실제 생산 공정에서, 4 각 브리지 암의 저항 값을 절대적으로 일관성있게 유지하기가 어렵 기 때문에 각 센서에는 공칭 비선형 성이 있습니다.
비선형 성이 매우 중요하기 때문에 센서의 비선형 값을 계산하는 방법은 무엇입니까? 우선, 센서가 지정된 온도 환경에서 압력 센서에 압력을 가압하고 0에서 풀 스케일로 추가하고 압력이 안정된 후 압력을 줄이고 0으로 돌아갑니다. 그런 다음 센서 측정의 상한 및 하한을 포함한 전체 범위에서 테스트를 위해 균등하게 분산 된 6 ~ 11 개의 테스트 포인트를 선택하고 상승 및 낙하 보정주기 테스트를 세 번 이상 반복하십시오.
후 시간 : 11 월 23 일